一、选题背景和意义：
微机电系统()和纳米机电系统()现在是当代技术的成熟领域. 微型计算机中压缩数据的存储, 空间探索中的微型机械, 显微外科工具以及现代通讯都只是植根于微系统技术的广大应用中的一部分.
微型机电系统()和纳机电系统()现在已经是当代科技中一个完整的部门. 技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业, 采用技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景. 技术正发展成为一个巨大的产业, 就象近20年来微电子产业和计算机产业给人类带来的巨大变化一样, 也正在孕育一场深刻的技术变革并对人类社会产生新一轮的影响. 目前市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等. 大多数工业观察家预测, 未来5年器件的销售额将呈迅速增长之势, 年平均增加率约为18%, 因此对对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战.
微机电系统模型是在微电子机械系统()装置中出现的. 这个装置由一块固定的在位置1的基础板和最初在位置0的介电弹性薄膜组成. 当对介电弹性薄膜加电压(这里用表示), 薄膜就向基础板方程变形, 当施加的电压超过某个临界值(吸合电压)时就可能出现跳跃的情况. 如果对系统施加一个正的外力, 势必会加速薄膜的变形, 进而可能会对临界值产生影响. 本课题将从偏微分方程的角度对此现象进行阐述和论证.
微电子机械系统是一个应用十分广泛的课题, 而带有奇异项的抛物型方程一直以来是研究的热点之一, 在此基础上考虑外部压力条件对微电子机械系统的影响使得问题更具有较好的实际应用价值和理论研究价值.
二、课题关键问题及难点：
关键问题是考虑下面抛物线型方程解的定性性质:
其中, 表示算子, 表示电压, 表示外部压力. 当时, 方程右端会趋于无穷大, 这种情况称为熄灭(), 使得点称为熄灭点. 具体地我们将研究方程解对参数及的依赖性质, 以及解在熄灭时的性质.
难点:
以上是毕业论文文献综述，课题毕业论文、任务书、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
