齿轮泵式自循环电解加工装置设计文献综述-文献综述网

文献综述

一直以来，荷叶疏水现象、壁虎爬壁能力等动植物所表现出的特异性能得到人们的关注。

随着科技的发展和观检测技术的进步，研究人员发现动植物表面具有特异功能的原因在于其表面的各种特殊的微观结构。

受动植物表面微纳结构功能的启发，近30年来，对表面功能微纳结构的研究逐渐发展成为新兴多学科交叉研究领域，已成为国内外研究热点[1]。

表面织构[2，3]通常指在工件表面加工出的具有一定尺寸且排列整齐的凹坑、沟槽或者凸起等微结构。

具有表面织构的工件在减摩减阻、提高传热效率、光学、润滑以及信息存储等方面具有优良的性能[4，5，6]。

这种微结构功能性表面应用极其广泛。

然而在加工微结构时，包括机械冲孔、钻削加工等在内的机械加工方式存在容屑空间小，不易散热及排屑，难以加工高硬度材料，加工精度不高等技术难点，在微结构加工方面的应用[7]受到限制。

微结构的常用加工方法包括激光束微细加工[8]、超声微细加工[9]、微细切削加工[10]、电火花微细加工[11]及电化学微细加工等[12]。

其中，电化学微细加工因其具有工具电极无损耗、加工后无残余应力、无再铸层，且加工效率高等优点而被广泛采用。

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