太赫兹波段传输线器件互连技术文献综述

 2023-08-11 09:08
  1. 文献综述(或调研报告):

在过去的十年中,太赫兹(THz)光谱区域(0.1-10 THz)在无损评估(NDE),太赫兹光谱和医学成像到许多应用中引起了极大的兴趣。自由空间太赫兹通信。但是,这些应用需要负担得起的THz系统,以实现巨大的工作带宽(BW)。因此,必须解决太赫兹系统的设计难题,包括阻止太赫兹系统广泛使用的射频电路组件和封装的设计难题[6]。

刚开始,各种基于半导体的微波振荡器,例如冲击电离雪崩渡越时间(IMPATT)二极管,肖特基二极管和Gunn二极管,已被用来产生THz频率(低于0.6 THz)的信号。为了克服基于半导体的设备的频率限制,已经研究了电子源,例如后向波振荡器(BWO),太赫兹量子级联激光器(QCL),基于光学整流技术的非线性晶体,以在子晶体中产生太赫兹信号。

许多RF应用,期望其中具有PD模块,并在矩形波导内直接产生信号。当然,这需要使用适当的GCPW(或CPW)到WR过渡将PD芯片的GCPW(或CPW)输出连接到矩形波导。

设计太赫兹波段的波导转换,前人学者提出了许多可行的方案。

在[1]中提出了一种密封RoF的E波段PD模块的新颖集成概念。该概念基于高频PD的集成,该PD具有CPW输出和双缝天线结构[7],专为71-76 GHz频率范围内的低损耗GCPW至WR-12波导耦合而设计。提出的概念不仅允许采用密封封装的PD芯片,而且还具有非常低的插入损耗(IL)和在所需E频段频率范围内几乎恒定的群时延。在转换结构设计中采用了通孔的设计,以期来实现消除GCPW中其他干扰模式的传输影响,在GCPW周围增加大小不一的通孔可以建立其电磁壁来阻隔干扰,这样的设计同时不会带来对RF性能的影响。实验同时表明了如果去掉通孔,损耗将会增加高达6dB。

  1. 中还介绍了一种GCPW的锥形设计。设计PD模块时,必须考虑几个考虑因素,因为不同的问题和约束适用于结构的不同部分。在设计从GCPW到WR-12的过渡时,使用GCPW是合理的,其尺寸在某种程度上可以与WR-12的尺寸(3.1x1.55 mm)相媲美。另一方面,需要一个小的GCPW配置,以便在将PD芯片连接到RO5880板上时使用可接受长度的键合线,并能够使用标准节距为100的标准GSG探针测量过渡或150mu;m。因此,需要GCPW锥度,并且需要权衡信号走线的宽度,距离从GCPW两端的接地平面及其长度。基于这些考虑,我们将建议的组件分为三个基本子模块:GCPW到WR-12的过渡,GCPW锥度和PD芯片到板的连接。对GCPW几何形状的优化可以带来更低的插入损耗,同时可以实现PD和天线的最佳耦合。

也不是在每个设计中都利用了通孔,[3]中就设计了一种无孔和无气桥的平面CPW到WR的过渡。此方法包括基于InP的偶极天线过渡,用于将射频信号从PD芯片直接耦合到WR3波导的端射耦合。所提出的设计利用了紧凑的基于偶极子的过渡,而无需在InP基板上蚀刻通孔。另外,不平衡变压器用于替换任何空气桥。所提出的设计允许采用具有WR3输出波导的简单,低成本和固态THz光电二极管封装。该过渡包括一个50Omega;的CPW,以使RF信号从光电二极管的输出通过偶极天线直接耦合到标准WR3波导。之后,CPW模式通过L形馈线转换为向偶极天线馈电的共面带状线(CPS)模式。L形馈线充当简单的巴伦,将不平衡信号转换为平衡信号,偶极天线收集传播CPS模式并将其转换为波导传播模式。

另外还有一些特别的设计,[4]中利用了脊型波段来连接CPW和WR,垂直部位的波导尺寸是递减的(采用了四阶切比雪夫低分之一波长转换),以实现紧密匹配和低损耗。通过这样的装置,CPW上的准TEM波在脊型波导中转换成了TE10模式。[5]中则新颖地提出了共面波导探针的过渡方式,方案可以直接使用硅微加工工艺制造。常规的集成衬底的波导的主要缺点与所使用的(低成本)制造技术有关,其高度有限导致远不理想的损耗,并且通过衬底通孔的侧壁构造严重限制了几何可能性,而且将频率范围限制在大约W波段。此外,探测接口需要精确的尺寸,这进一步将SIW限制在传统制造方法中的100 GHz以下频率。因此,最近对硅绝缘填充波导进行了微加工研究,并获得了与传统的SIW甚至W波段的空气填充波导相媲美的出色性能。[6]中的设计采用了堆叠硅片来实现CPW到WR的过渡提出了一种新型的完全微加工的CPW到矩形波导的过渡。与[7,8]相比,所提出的过渡具有使用硅微加工技术更易于批量生产的优势。在本文中,CPW和矩形波导在基板的同一侧而不是基板的两侧进行了图案化和集成[9]。另外,耦合探针在基板上构图,而不是单独制造[10]。建议的过渡不需要像[10]那样的探针组件。这些变化使过渡更适合于RF封装电路,并易于扩展到THz应用。

参考文献:

[1] Wang, C., Yao, Y., Wang, J., Cheng, X., Yu, J., amp; Chen, X. A Wideband Contactless CPW to W-Band Waveguide Transition [J]. IEEE Microwave and Wireless Components Letters, 2019, 29(11), 1–4.

[2] Makhlouf, S., Khani, B., Haddad, T., Steeg, M., amp; Stouml;hr, A. Endfire transition from coplanar waveguide-to-WR3 rectangular waveguide for monolithic integration with THz photodiodes [C]. 2019 2nd International Workshop on Mobile Terahertz Systems, IWMTS 2019, 19–21.

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