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文献综述
文 献 综 述一 、课题研究背景及意义低温等离子体是部分电离的气体，是高能电子、分子、原子、离子和自由基等具有高化学活性的粒子混合物[1]。
在低温等离子体中，电能主要是用来产生高能电子，并没有起到加热反应气体的作用，高能电子在碰撞过程中将能量传递至反应气体上，促进化学键裂解形成自由基，这些自由基通过复合反应形成新的轻质化合物。
在这过程中，等离子体在保持其高控制性的前提下，以其独特的非平衡特性使一些常规条件下不易进行的反应得以实现。
而根据每种研究要求的等离子体参数差异性，需要的等离子体发生技术也有显著差别。
产生低温等离子体的方式很多，实验室和工业产品大都采用电磁场激发等离子体，如电晕放电、辉光放电、介质阻挡放电 (DBD) 和滑动弧放电[2]。
介质阻挡放电（DBD）是通过在金属电极间插入绝缘介质，以阻止放电向火花或弧光放电转化的一种放电方式，可以用于在很大气压范围内产生冷等离子体。
由于放电中不会像火花放电一样发出较大的声音，Andrews等研究者也将DBD命名为无声放电（silent discharge）[4]。
DBD具有尺寸多样、结构简单、可控性强以及便于实现规模化等诸多优点，这些优点大大拓展了DBD在工业生产中的应用范围。
关于DBD的研究最早可追溯到1857年，Siemens使用DBD产生臭氧；随后在1932年，Buss使用平行板DBD结构在空气中进行放电实验并发现空气放电是由大量细的电流通道组成的，自此开始了研究者们对DBD性质的广泛研究。
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