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文献综述
文 献 综 述一．课题研究背景及意义低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，它是气体在放电过程中产生大量的正负带电粒子、电子和中性粒子以及自由基组成的表现出集体行为的一种准中性气体。
低温等离子体具有较强的化学活性，反应温度低，产生所消耗的能源少，能够满足实验室环境下许多化学物理反应对温度的要求，因此，低温等离子体在科学研究实验室中有着重要的研究和应用。
因为气体放电产生等离子体具有操作简便、稳定性强的特点，所以，目前在实验研究和工业应用中通过气体放电产生低温等离子体的方式被广泛采用。
按照不同的气体放电形式可以划分为辉光放电、电弧放电、电晕放电、介质阻挡放电和大气压低温等离子体射流。
其中，辉光放电通常在低气压中实现，需要较为复杂、昂贵的真空设备；电弧放电放电电流大、宏观温度高，对激励电源的功率以及反应器的耐热性有较高的要求；电晕放电的强度较弱，并且其等离子体的化学活性较低，不适用于大规模应用；介质阻挡放电中的绝缘介质可以插入放电空间，也可以悬挂在放电空间里或者覆盖在电极上，不需要真空室系统就能够在较低温度下获得等离子体，已在诸如材料表面改性等实际领域得到应用。
然而，传统结构的介质阻挡放电反应器电极间放电间隙仅为mm至cm量级，不仅很大程度上限制了被处理物体的尺寸，下游待处理材料复杂的几何形状也会对放电运行稳定性及放电模式产生影响，放电粒子在狭窄空间内其寿命和活性受到较大影响，在工业中某些实际应用方面有很大的局限性。
大气压等离子体射流是近年来基于介质阻挡放电发展起来的一种新型的低温等离子体源，与介质阻挡放电形式相比，大气压等离子体射流放电特性具有更广阔的应用前景。
近年来大气压低温等离子体作为一种新型表面处理和改性方法，受到了广泛关注，其具有操作简便、改性均匀、成本低廉、可靠性高、无污染等优势。
这其中，大气压等离子体射流能在放电电极空间外产生等离子体，有效地实现工作区与放电区分离，还可保证大量活性粒子可直接与被改性材料作用，非常适合形状复杂材料如绝缘材料的直接改性处理。
