透明二氧化钛薄膜的制备和表征文献综述-文献综述网

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文献综述

二氧化钛薄膜的制备与应用研究进展二氧化钛（TiO2）是一种宽禁带氧化物半导体，禁带宽度在3.0 eV以上，具有物理化学性质稳定、安全无毒、储量多、成本低等优点，近年来在物理、化学、医学和功能材料等领域得到了广泛的关注与研究。

基于纳米TiO2结构的薄膜可以应用在多种基材上代替大块材料，从而节省成本；因为其具有更高的表面积和增强的光催化性能，能够实现不同的机械、化学和物理表面功能。

TiO2材料得益于它高折射率和高禁带宽度等优异的光学和电学性能，在光催化、显色示踪剂、太阳能光电板、波导、自洁窗玻璃、污染防控和传感器等领域有着广泛应用。

TiO2薄膜的性能与制备方法息息相关，不同工艺制备出的二氧化钛薄膜的物相结构和表面形貌也不同。

目前二氧化钛薄膜的制备方法主要有以溶胶-凝胶法（Sol-gel）和水热合成法为代表的液相法，和以物理气相沉积法（PVD）与化学气相沉积法（CVD）为代表的气相法。

此外还有声化学合成法、电化学沉积法等。

1. 二氧化钛薄膜的制备1.1. 液相法1.1.1 溶胶-凝胶法20世纪60年代前后，玻璃、陶瓷等工艺快速发展，一种新的制备方法－溶胶凝胶法应运而生。

以一些化学活性较高的化合物作为原料，经搅拌、水解等步骤得到液体溶胶，继而经缩聚过程转化为固体凝胶。

最后通过热处理制备出所需薄膜。

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