线阵CCD激光光斑位置检测方法研究文献综述

 2022-11-24 09:11

文献综述

1 研究背景

1.1 线阵CCD概述

电荷耦合器件(charge-coupled device,CCD)是一种由高感光度半导体材料构成的高灵敏度图像传感器。CCD按照像元排列的结构可以分为面阵CCD和线阵CCD两种,本文主要研究线阵CCD。

线阵CCD是由一系列像元按照规则排成一列组成。以当前的制造工艺,线阵CCD像素数可达到数千万,在测量精度相同时,其测量范围比面阵CCD大得多。另外,线阵CCD能够高速自扫描,有更高的响应频率,对测量环境要求也不高[1]

在垂直于CCD的方向上进行扫描,就可以获取一幅二维图像[1]。除此之外,线阵CCD更多被用作高精度测量系统的光敏传感器。例如高精度激光三角法[2],该方法分辨率和测量速度都很高[3-4],被广泛应用于距离测量、表面形貌非接触测量等领域。另外,由于其较高的分辨率和较高的工作速度,还被广泛应用于医疗电子仪器、光谱检测、在线光电检测等许多方面[5]

1.2 线阵CCD激光光斑特点

激光器输出光场的横模为高斯函数型分布[6],因此,线阵CCD接收到的激光光斑能量分布也近似为高斯曲线分布。

理想情况下,CCD采集到的光斑图像是光滑单峰曲线(近似高斯曲线)。但在实际情况中,由于受到CCD分辨率和诸多噪声的影响,得到的光强分布曲线将不再是光滑的单峰曲线,而是一系列不连续的、糅合了噪声的离散点。

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