半导体涂层介质材料对DBD放电特性影响研究文献综述

 2022-01-07 09:01

全文总字数:4576字

文献综述

一、研究背景及研究意义等离子体是物质存在的一种基本形态,是除固态、液态、气态以外的第四种物质形态,其物性及规律与固态、液态、气态的各不相同。

介质阻挡放电是一种有效产生等离子体的方法[1]。

气体放电作为等离子体物理一个重要组成部分,气体放电现象是当电流通过气体后由电离的气体显现出来的。

研究气体放电的目的是要弄清这样的电离气体在各式状况下的宏观现象及规律,人们研究气体放电已有一百多年了,通过放电很好地使用了等离子体[2]。

介质阻挡放电(DBD)又称无声放电,是一种有绝缘介质插入放电空间的气体放电形式。

这种放电形式能够在常压下产生具有较高能量的非平衡等离子体,因此具有十分广阔的工业应用前景,是适合大规模工业应用的一种气体放电形式。

目前在臭氧合成、光源照明、准分子光源、等离子体显示、材料表面改性等方面都获得了广泛应用,实现了良好的处理效果。

因此,对介质阻挡放电(DBD)的放电机理及特性进行研究,对其所涉及的一系列应用领域的理论和技术开发都具有重要意义[3-6]。

在传统的介质阻挡放电中,电流波形存在大量的毛刺,对应的DBD放电过程中存在着大量的细丝放电。

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