毕业论文课题相关文献综述
文 献 综 述1.概述 等离子体的分类方法有很多，按温度划分可分为高温等离子体和低温等离子体两部分。
前者一般指由受控核聚变、原子弹、氢弹以及太阳等恒星所产生的等离子体，这些等离子体是完全电离的，其温度高达108109K。
后者是部分电离的，相对高温等离子体而言温度较低。
低温等离子体又可以分为热平衡等离子体和非热平衡等离子体，其中热平衡等离子体中电子和离子温度几乎相同（如电弧等离子体Te=Ti≈104K），宏观温度较高；而非平衡态等离子体中电子温度远远高于离子温度，一般认为电子温度可达到例子温度的10100倍，因而非平衡态等离子体的宏观温度较低，一般约为几千或几百K，甚至接近室温。
目前产生等离子体的方法主要是通过气体放电的方式产生，大气压低温等离子体射流基本放电形式是介质阻挡放电，同时因为有快速气流吹动，气流的存在可以进一步抑制放电过程中可能产生的放电通道过于集中的问题，有利于产生一种稳定而均匀的放电形式；此外，气流的吹动可以把放电空间产生的一些活性成分、激发态粒子、甚至荷电粒子导出放电空间区域，这样就可以实现放电区域与工作区域的分离，使这种放电等离子体发生器具有更大的实用性。
目前这种放电等离子体发生器被用于表面清洗，表面处理，消毒灭菌，薄膜制备，废气废水处理等方面。
大气压低温等离子射流已被广泛应用于工业生产及科研领域，随着人们对其认识的日渐加深，其应用范围也在迅速的拓展之中，这对大气压低温等离子体射流技术本身提出了更高的要求。
现阶段大气压低温等离子体射流技术主要有两个发展方向：一是微型化，即射流的尺度减小到微米或亚微米量级，主要用于大气压下微电子器件及纳米器件的刻蚀加工；二是大型化，即通过等离子体源的尺度扩展或利用大量低温等离子体射流并行运行形成大面积均匀等离子体，主要用于大面积材料表面处理，本课题主要研究的是后者。
2.射流阵列结构 射流阵列是在传统的单管射流的基础上发展起来，为了应对不同的需求，可以根据他们的排列方式分为一维射流阵列和二维射流阵列，一维射流阵列是指将多个射流单元沿着线性排列的方式组成的阵列结构，而二维射流阵列则是在横向和纵向两个维度上进行扩展，得到以面型方式排列的阵列结构。
Z Hubicka等设计了一种由9根石英管组成的一维阵列结构，将9根内外径分别为1.5，3mm的石英玻璃管紧紧排列在一起，并在石英管下端用宽度为5mm的不锈钢带包裹住，用作供电电极。
