光阻干膜项目职业病防护设施设计文献综述

 2021-10-15 08:10

毕业论文课题相关文献综述

文 献 综 述

1.1、课题来源和选题依据

光阻干膜,也称为光致抗蚀剂,是制造印制电路板电路图形的关键材料,光阻剂产品主要供应印刷电路板生产使用,主力产品为新一代高密度线路板用高解析能力光致抗蚀干膜,终端客户为计算机、笔记本、液晶电视、通讯手机等等[1]

目前主要用液态光致抗蚀剂和干膜抗蚀剂两大类,其中干膜抗蚀剂用量最大,在各种抗蚀剂中占90%以上。干膜光致抗蚀剂工艺性能优良,成像性和耐化学性能良好。其在图形电镀工艺中,对于精密细导线的制作、生产率的提高、产品质量的改善有其他光致抗蚀剂所达不到的效果[2]

中国是全世界最大的印刷电路板生产基地,光阻干膜的用量逐年增长,国内有七、八家企业生产光阻干膜,年产量约60000万m2左右,远远不能满足国内的需求,目前,大部分依靠进口。国内对光阻干膜的巨大的市场需求为发展我国电子化学品产业提供了机遇。

但是由于企业有限,又长期依赖进口,在光阻干膜的生产上,依旧存在很多不足。因而做好光阻干膜项目职业病防护设计措施,对于未来大规模生产,有着深刻的意义。

1.2、研究现状

1.2.1 现状及研究步骤

本项目光阻干膜和液态光阻生产工艺流程基本相同,光阻干膜生产流程分反应、调和、涂工、贴合等四个主要工序;液态光阻生产流程仅反应、调和工序。

反应:将丙烯酸单体(甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸等)等原料以及醋酸甲酯、甲醇、丙酮(主要作用为增加黏度,不参与反应)从原料罐经防爆泵送至单体计量桶计量,进行搅拌20min混合均匀,另将原料醋酸甲酯通过管道输送至触媒计量桶,然后在触媒计量桶内加入引发剂,搅拌使引发剂充分溶解。待引发剂在计量桶内充分溶解后,经定量泵将单体混合物及引发剂滴加入反应釜,滴定速度靠定量泵本身的开度调节及变频控制。反应釜中进行丙烯酸树脂反应。反应前用N2对反应釜进行三次空气置换,同时在反应过程中设定0.005Mpa的N2自动充压保护(当反应过程中釜内压力0.005MPa时,进行氮气冲压至0.005MPa)以保证反应过程中不会出现负压情况,整个反应过程中反应釜内压力<0.4MPa。反应釜内反应温度为80℃10℃,利用夹套水对釜内进行温度控制,同时用列管式冷凝器对反应过程中产生的高温溶剂蒸汽进行冷凝回流,冷凝介质为冰水,温度可降至15℃左右,冷凝介质与列管接触面积为14平方米,冷凝效率可达95%以上,不凝气(醋酸甲酯、丙酮、甲醇等)通过排气管至现有水洗塔(350m3/min)进行水洗及活性碳吸附塔(300m3/min)进行处理后排放。

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