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文献综述
1.研究背景与意义现代工业技术的蓬勃发展之下，对实际工作过程中的数据监测与采集是十分重要的环节。
在对工件进行数据检测时，我们要做到对工件无损伤检测，常用的无损检测方法有：超声检测、射线检测、磁粉检测、涡流检测等。
其中电涡流传感器的基本原理是电涡流效应金属体在变化的磁场中因运动切割磁感线并在金属中产生涡流状的感应电流。
这种原理使得电涡流传感器在检测工件表面裂纹，油膜厚度，工件角度抑或是位移的偏移量等检测上都有着不凡的能力。
电涡流位移传感器以其长期工作可靠性好、测量范围广、灵敏度高、分辨率高等优点，在大型旋转机械状态的在线监测与故障诊断中得到广泛应用。
目前工业生产中，电涡流位移传感器在设备监测系统和智能控制系统中应用非常广泛，在发电机组、磁轴承系统、汽车检测系统和齿轮箱等大小型机械设备上发挥作用，用于机械磨损检测、轴向和径向振动 测量、偏心测量和膨胀测量等。
电涡流传感器具有较长的发展历史，起源于19世纪涡流现象的发现，到了上世纪二三十年代，世界上开始出现应用涡流原理研制出的仪器，而后美国和德国的一些企业和研究单位开始使用一些涡流检测设备。
从50年代开始，越来越多的国家相继开始从事电涡流传感器的研究工作，并且在该领域进入了高速发展的阶段。
目前，国际上著名的电涡流位移传感器制造商有德国的米铱、日本的基恩士（KEYENCE）、瑞士的 Wabrometer、美国的卡曼（KAMAN）和本特利内达华（GE Energy-Bently Nevada）等。
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