MEMS能量收集器的研究文献综述

 2021-09-25 01:09

全文总字数:3721字

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文 献 综 述随着半导体技术的迅猛发展,各种半导体芯片的尺寸变得越来越小,可携带电子器件和无线传感网络在过去的几十年里的得到了快速的发展,尤其是在人体健康检测、环境控制系统、嵌入式系统、军事安全应用系统等方面得到了广泛的应用。

通常,这些微电子器件都依赖于传统的化学电池的供电,然而化学电池的发展技术远远滞后于微电子技术,从而导致供能技术方面的缺陷成为了制约微电子技术进一步发展的障碍。

我们都知道,传统的化学电池所能携带的电量是有限的,因而需要定期地更换电池。

即使是一些可充放电的化学电池,也需要人为地对其进行充电,这对处于远距离需要被长时间提供能量的无线传感网络来说是很不方面的,尤其对于嵌入在衣服,人体内或者工作在恶劣的环境中的电子系统,更换电池是相当困难甚至是不可能的事。

如何获取长期甚至是无限期的自主供电系统成为了困扰着研究人员的一个难题。

所幸的是,从周围的环境中获取能量给解决这一问题提供了一种新思路。

一 本课题的研究现状1.1国外的能量收集器的研究现状(1)一战期间,法国科学家郎之万利用压电效应研制出第一个可供使用的压电转换器。

(2)1996年,荷兰的Thad Starner等利用压电陶瓷收集的运动能驱动笔记本电脑,开创了压电发电与能量存储这一新的研究领域。

(3)美国的Roundy S等人研制压电电源装置用于无线传感节点自供电(4)目前,国外的大量压电发电研究集中与人力发电机(Human Powered Generator),尤以压电发电鞋的报道最多,这种发电装置可以满足野外军事行动中的无线跟踪电子装置和通讯联络的需求,展示了压电发电与能量存储技术在国际军事领域的应用前景。

(5)MIT 的kymissis、Shenck、Paradiso等采用多层压电薄膜(PVDF)做成窄板装在鞋底可提取鞋底弯曲能;加固的PZT压电陶瓷双晶片装在鞋跟,可提取鞋跟撞击能。

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