素坯成型和渗硅工艺对硅化石墨性能的影响文献综述

 2021-10-24 03:10

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1. 硅化石墨概述硅化石墨又称碳化硅涂层石墨或渗硅石墨。

它是以石墨为基体,在其表面或表面深层渗入硅或碳化硅而形成的一种由碳化硅、石墨、游离硅多相组成的新型碳化硅/石墨复合材料。

它既保留了纯碳素基体材料的润滑性、导电性、导热性、抗热震性及高温强度好的特点,又具有碳化硅的高硬质、抗氧化、耐腐蚀等优点。

很适用于重载、高温或大温度冲击等苛刻环境,是继树脂类浸渍碳-石墨材料和金属浸渍碳-石墨材料之后迅速发展起来的又一自成系列的碳基复合材料[1-3]。

硅化石墨的硬度实为SiC的硬度,它仅次于金刚石、氮化硼、碳化硼,比碳化钨、三氧化二铝等的硬度高。

硅化石墨可用作磷酸,磷胺及氢氟酸等泵的轴承。

硅化石墨已被广泛用于化工、航天、核能等领域。

此外半导体工业中,作为硅外延生长的发热片基体和夹具及制造人造关节、人造心脏瓣膜、人造齿根等[4]。

硅化石墨常用的制备方法有化学气相反应(CVR)法、化学气相沉积(CVD)法和液硅渗透(LSP)法。

CVD法制备的碳化硅层致密、均匀,但厚度较薄,与基体间结合力弱,在骤冷骤热条件下易剥落。

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