BaZr0.2Ti0.8O3薄膜的制备工艺与电学性能研究文献综述-文献综述网

文献综述

1.引言随着电子信息、集成电路和微机电系统 (MEMS) 等领域的迅猛发展，压电薄膜材料的需求量也在日益增加。

目前被大量使用的压电材料以铅基压电材料为主，然而铅基压电材料中的氧化铅含量可达原料总量的70%，导致其在生产、使用和废弃后处理等过程中都会给人类及生态环境带来严重且不可逆的危害。

受环境和社会可持续发展的制约，传统压电材料(含铅)遭到限制，性能优异的无铅压电薄膜和相关传感器有着广泛的应用前景。

目前发展前景较好的无铅材料包括乌青铜结构类的材料，铋层状结构类的材料，以及钙钛矿结构的材料。

其中，钙钛矿无铅体系以其优异的压电、铁电和介电性能成为近年来研究最多、发展潜力最大的无铅体系之一，一直受到物理、化学、材料和微电子等研究领域的重视。

钙钛矿材料逐渐被广泛的应用于电容器、热敏电阻、光开关、高频电路元件、动态随机存储器、非易失性铁电存储器、及电光集成器件等，被认为是最重要的电子元器件材料。

随着器件不断向微型化、集成化和智能化方向发展，对材料提出了小型、轻量、可集成等更高的要求，因此薄膜材料的研究成为目前高新技术研究的前沿热点之一。

本课题将通过溶胶-凝胶法来制备锆钛酸钡 (Ba(Zr0.2Ti0.8)O3，简称BZT) 无铅铁电薄膜。

2.钙钛矿型铁电薄膜2.1钙钛矿型铁电薄膜的结构特点钙钛矿结构薄膜是铁电薄膜中性能比较优秀的一类薄膜。

其通式为ABO3，A价态为 2或者 1价；B价态为 4或者 5价。

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